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无尘洁净室按用途分类可以分为工业洁净室、生物洁净室。按气流流型分类可以分为单向流洁净室、非单向流洁净室、辐射流洁净室、混合流洁净室。这里,我们按照用途分类对洁净室进行分析。
工业洁净室
工业洁净室以无生命微粒为控制对象,其内部一般保持正压。适用于精密工业(如精密轴承等)、电子工业(如大规模集成电路等)、航天工业、电子产品组装、照相工业(如胶片制版等)、精密仪器仪表生产等行业。电子产品种类繁多,现代电子产品要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。以人们熟悉的手机、笔记本电脑、薄膜晶体管液晶显示器(简称TFT-LCD)为例,他们所使用的集成电路、电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控的环境条件下进行操作,其中集成电路生产过程对环境的要求尤为严苛,当今线宽为45nm的超大规模集成电路产品的生产环境—洁净室的受控粒子尺寸要求小于0.02μm甚至更小。各类产品的品种不同、生产工艺不同,所要求的空气洁净度等级也不相同。因此在进行洁净厂房设计时,洁净室的空气洁净度等级应根据生产工艺的要求来确定。洁净室及洁净区空气洁净度整数等级。TFT-LCD制造用洁净厂房的空气洁净度等级、温度、湿度。
生物洁净室
生物洁净室以无生命悬浮微粒和微生物为主要控制对象,生物洁净室又可分为一般生物洁净室和生物安全学洁净室。一般生物洁净室主要用于大部分药品和生物制品生产、部分食品、化妆品、保健品工业、医疗设施(如医院洁净手术部)等,内部通常保持正压。生物学安全洁净室主要用于有生物学安全要求的实验室或部分药品和生物制品(如重组基因、疫苗制备等)的生产,内部通常保持负压。